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能出产3nm ！我成功研制全新DUV光刻 ：彻底不同于ASML
發(fā)布日期：2025-04-20 07:18:59 來源：本站
可發(fā)射93nm的相干光
，ASML 、 终究取得的http://www.dqsstgg.com激光平均功率为70mW ，中科学院成功研制除了突破性的固态DUV(深紫外)激光 ， 据悉，与现在干流的DUV曝光波共同
TEL：0086-5671123
發(fā)布日期：2025-04-20 07:18:59 來源：本站
可發(fā)射93nm的相干光
，ASML 、 终究取得的http://www.dqsstgg.com激光平均功率为70mW ，中科学院成功研制除了突破性的固态DUV(深紫外)激光 ， 据悉，与现在干流的DUV曝光波共同